In speziellen Anwendungsfällen werden Halbleiter-Relais eingesetzt, die sich durch folgende Eigenschaften auszeichnen: unbegrenzte Schalthäufigkeit, kein mechanischer Verschleiß, kein Kontaktprellen, keine EMV-Störungen beim Schaltvorgang, kein Lichtbogen beim Schalten, sehr schnelle Ansprechzeit und die Möglichkeit für HF- Schaltvorgänge.